微波是一种高频电磁波，对硅材料具有高效加热、整体加热、负反馈加热等特性，可实现快速、均匀加热。
基于微波的高阻硅芯启动，可在短时间内（20~30min）将高纯硅芯（500~2000Ω）加热到300~500℃，使还原炉可在低压条件下（2000V以下）顺利启炉。
采用独特、紧凑的微波馈入结构，利用还原炉现有的视镜口实现微波的无接触式馈入加热。